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Dieses Härteverfahren im Vakuum ist
besonders geeignet für stark verzugsempfindliche Präzisionsbauteile. Als Abschreckmedium wird
Stickstoff eingesetzt. Durch Veränderung des Abschreckdrucks (bis 6 bar) und der
Richtung des Kühlgasstroms
kann für jedes Werkstück der optimale Härteprozeß exakt eingestellt
werden. Das elektronische Prozeßleitsystem
sichert eine reproduzierbare Qualität. Beim Vakuumhärten werden
Temperaturen bis zu 1300 Grad Celsius erreicht; ein Abschrecken mit Warmbadeffekt ist möglich.
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Neben der Verzugsarmut zeichnen sich im
Vakuum gehärtete Werkstücke durch ihre metallisch
blanke Oberfläche aus, da Oxydationen
im Vakuum nicht stattfinden. Angewendet wird das
Verfahren vor allem bei Präzisionsteilen
wie Druckgießwerkzeugen, Werkzeugen der
Kunststoffindustrie, Rollen, Führungen, Matrizen,
Messern und sonstigen Werkzeugen sowie warmfesten, rast-
und säurebeständigen Maschinenbauteilen. 
Chargieren des Vakuumofens mit typischen
Präzisionsteilen
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Vakuumhärten